YH2M8155 四軸精密單面研磨（拋光）機
該機用于閥板、閥片、磨擦片、剛性密封圈、氣缸活塞環(huán)、油泵葉片等金屬零件，以及硅片、晶圓、石英晶體、玻璃、陶瓷、藍寶石等非金屬硬脆性材料的單面研磨和拋光。
典型加工零件
硅片
藍寶石
設(shè)備亮點
● 本機采用偏心行星式運動方式。
● 工件盤、拋光盤采用減速機直聯(lián)驅(qū)動，變頻器調(diào)速。
● 采用氣缸+電氣比例閥精確控制壓力大小，采用觸摸屏+PLC控制方式。
技術(shù)參數(shù)
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項目 |
單位 |
參數(shù) |
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精密下盤尺寸 |
mm |
φ1422 x 145 |
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壓盤尺寸及材質(zhì) |
mm |
φ550/SUS304平面度≤5um |
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設(shè)備重量 |
T |
9 |
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設(shè)備尺寸（L*W*H） |
mm |
2255 x 1875 x 3300 |
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盤面溫度檢測系統(tǒng) |
- |
具備 |
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拋光液供給系統(tǒng) |
- |
具備 |
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PP頭冷卻系統(tǒng) |
- |
可選配 |
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下盤冷卻系統(tǒng) |
- |
具備 |
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上壓盤電機強制驅(qū)動旋轉(zhuǎn)(上驅(qū)動) 4套 |
- |
具備 |
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車刀伺服系統(tǒng) |
- |
可選配 |
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全工藝控制系統(tǒng) |
- |
具備/可編寫10個步驟工藝（50recipe） |
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歷史數(shù)據(jù)存儲及讀取系統(tǒng) （溫度、轉(zhuǎn)速、時間、壓力） |
- |
具備 |
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水槍及氣槍 |
- |
具備 |
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上壓盤壓力及精度 |
- |
單個壓盤最大壓力500kg/ea 最小壓力40kg/ea 壓力波動及誤差3%以內(nèi) |
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適用電源 |
- |
供電電壓：380V±10%/220V±10%，供電頻率：50Hz±2% |
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設(shè)備功率 |
kW |
≦30 |
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氣源壓力需求 |
Mpa |
末端壓力：0.5～0.7 |
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冷卻水需求 |
- |
壓力：2-4kg/cm2，流量：10-16L/min。溫度：8-18℃ |
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環(huán)境需求 |
- |
環(huán)境溫度：0℃-45℃ |
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